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新型EUV光刻机技术横空出世,国产光刻机压力山大

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发表于 2019-3-25 22:32:37 | 显示全部楼层 |阅读模式 来自 中国
近年来,国产光刻机从无到有,从有到精。目前国内已能生产制造28nm芯片的国产光刻机,只管技术仍有待进步,但毕竟实现了国产化,在以后的日子里,经过打磨进步,仍有盼望在光刻机巨头ASML的碗里分一杯羹。
0 _0 [0 B# K6 ^' Z" r然而,我们在进步,别人也在进步。最近,ASML的合作伙伴、欧洲芯片实验室IMEC研发出新型EUV光刻机技术,这项先辈技术对于发展5nm和3nm的光刻机有紧张作用。* w" o( b3 E7 o% _
据相识,光刻机技术从DUV技术发展到EUV技术,带来了很多方面的革新,光刻机需要高性能的光源,而激光器的技术程度非常关键。0 y4 C7 ]1 G+ D5 ^1 T$ z
IMEC实验室已经研发出当前开始进的激光器,这种装备可以发出高次谐波光源,且无需蔡司镜头即可成像,IMEC实验室这次探索意义在于为人们提供了一个新的参考——高次谐波光刻技术。) g$ ~2 }8 h& m! J
早在去年,IMEC实验室就向世人表态了他们研发的3nm工艺的芯片晶圆。这对于国产光刻机而言,压力山大。" A1 H! s6 H7 |
对于新型光刻机横空出世,你以为是否给国产光刻机带来压力?欢迎留言到场讨论!
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0 J% g, u) D% X来源:https://www.toutiao.com/a6671871470362165774/
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